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原子层沉积系统ALD企业

 发表时间:2023-08-27

ALD原子层沉积设备厂家有以下几个:
 
* 日本AGUS
* PICOSUN:提供原子层沉积系统ALD PICOSUN ALD R-200系列和ALD R-300 Pro。
* 深圳市蓝星宇电子科技有限公司。
* 德国Sentech。
* 美国泛林(Lam)。
* 应用材料(AMAT)。
* Eugenus Veeco。
* Beneq(已被中车收购)。
* Leadmicro(江苏微导)。
* 北方华创。
* 理想能源。
* Oxford Instruments。
* FORGE NANO。
* Solaytec NCD。
 
除上述外,ald原子层沉积设备厂家还有ASM International、TOKYO ELECTRON等。
 
 
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